二手 KLA / TENCOR Puma 9100 #9023788 待售

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ID: 9023788
優質的: 2006
Pattern defect inspection system, 2006 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9100晶圓測試和計量設備是KLA Corporation的最新產品,KLA Corporation是半導體計量和檢驗的全球領先者。此通用系統經過精心設計,可支持各種高級陣列應用程序。KLA Puma 9100先進的模式設計能力包括:全芯片自動光學檢查(AOI)、自動化過程控制(APC)、抗檢測、缺陷檢測和量化缺陷分析。它還提供了強大的流程優化功能,允許用戶根據自己的特定需求調整流程參數。TENCOR Puma 9100具有先進的光學和成像技術,可以捕獲最詳細的圖像。其快速、精確的光學元件可以快速感測表面和地下特征。TENCOR專有的正交傳輸單元(OTS)為用戶提供了從一側快速檢查和測量陣列晶片而不旋轉樣品的能力。Puma 9100配備了四個獨立的攝像頭模塊,分辨率各不相同,使用戶能夠輕松地檢查晶圓的各個區域。ResolveMax™成像軟件為用戶提供了晶圓結構的全面視圖,使他們能夠測量、檢測和量化缺陷。KLA/TENCOR Puma 9100還通過其KLA/TENCOR計量工具提供高級計量功能。用戶可以遠程訪問計算機的圖形用戶界面(GUI)以測量線寬、查看布局和設置公差。這些工具使用戶能夠快速發現缺陷並采取必要的糾正措施。KLA創建了KLA Puma 9100,成為可靠可靠的晶圓測試和計量解決方案。該工具設計堅固耐用,同時提供最高水平的準確性和可重復性。資產的高級功能和工具使其成為需要優化流程的流程工程師的理想選擇。
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