二手 KLA / TENCOR Puma 9120-IS #9016502 待售

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ID: 9016502
Patterned wafer inspection system, 2007 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9120-IS是半導體工業中使用的全自動晶圓計量和測試設備。它能夠測量和分析集成電路的電氣和物理特性,包括小到0.1微米的微小特性。KLA Puma 9120-IS配備了強大的光學顯微鏡系統,使用CCD相機和放大鏡來測量器件結構的詳細特性和晶片上的其他特征。它能夠捕獲分辨率為5x5微米的圖像,捕獲的特征小於30納米的3D深度。該單元還能夠測量至少30微米的器件的線性和角度模式,從而在微觀水平上實現精度。為了表征、分析和排除設備的性能,該機采用了晶圓到晶圓的主動對準測量、坐標測量機(CMM)和可變角度光譜橢圓偏振(VASE)等多種技術。通過為用戶提供這三種用於高級分析測量的工具,TENCOR Puma 9120-IS是一個特殊的IC電氣和物理表征平臺。在測試功能方面,Puma 9120-IS具有執行各種測試的能力,如表面測量、探測、電氣協議測試、泄漏基板測試和模具拉力測試。它還能夠對各種設備(如DRAM、Flash設備、EPROM、OTP和LCD)進行晶圓級增強測試。此外,Puma支持對直徑不超過200毫米的晶片進行自動晶片處理。它還提供了一個集成的缺陷審閱工具,該工具具有算法自動審閱和用戶定義的標準,從而可以更快地解決問題。KLA/TENCOR Puma 9120-IS是一種高性能儀器,具有精確、精確的測量性能,是集成電路表征、測試和故障排除的理想選擇。它能夠處理各種集成電路,對自動對焦和自動測量技術的支持有助於確保正確的結果並節省時間。
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