二手 KLA / TENCOR Puma 9120 #293705738 待售
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ID: 293705738
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Darkfield inspection system, 12"
Equipment Front End Module (EFEM)
PC Processor Type: x86, Family 15, Model 4, Stepping 10
Genuine Intel: ~3391 Mhz
Operating system: Windows 2000
(3) Inspection pixel models
Pixel Sizes: sL5, sL8, sL20
Power: 208V, 60Hz, 83A
2007 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9120是為半導體制造應用而設計的最先進的晶圓測試和計量設備。KLA Puma 9120是一個功能強大、用途廣泛的系統,為過程控制和故障檢測提供快速、準確的結果。TENCOR Puma 9120是一個全自動單元。它配備了高速、小視野、Color Darkfield Inspection機器，使其能夠快速準確地識別和量化晶圓等元件上的缺陷。其先進的軟件使其能夠智能地區分粒子和圖案。該工具能夠在3個維度上測量多達128個特征,包括尺寸、形狀、位置、方向和紋理。其集成的Metrology站，配備了高分辨率的成像資產，使其能夠同時分析多達64個晶圓。這包括測量各種特征的晶片內和跨晶片相關性的能力。Puma 9120還配備了強大的數據管理模型,旨在跟蹤和存儲測量數據,並準確預測與每個設備的設計相關的產量。KLA/TENCOR Puma 9120是一款模塊化設備，使其能夠輕松定制和配置，以滿足用戶的特定需求。它還具有用戶友好的界面,使操作員可以輕松訪問系統配置、設置和測量。此外，其超低振動和聲響水平使其適合在潔凈室環境中使用。總體而言，KLA Puma 9120是一個先進且用途廣泛的晶圓測試和計量單元，旨在提供快速、準確的結果並幫助降低半導體生產成本。它易於設置、配置和操作,其模塊化設計使其易於針對特定應用進行定制。它是一種經濟可靠的過程控制和故障檢測解決方案。
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