二手 KLA / TENCOR Puma 9130 #293758114 待售
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KLA/TENCOR Puma 9130是用於半導體制造的晶圓測試和計量的強大工具。它專門研究各種材料的高速、無損在線計量和直徑達300毫米的晶圓尺寸。KLA Puma 9130使用多傳感器平臺提供了一種高效、自動化的方式來收集、解釋和記錄晶圓的關鍵參數。這包括關鍵過程的縮放參數,如間距、輪廓、厚度和表面地形,以及結構和化學信息。它的軟件套件提供了快速、方便的實時數據訪問,允許對當前和歷史晶片進行全功能分析。TENCOR Puma 9130設計用於生產運行的高容量、高精度檢測。它的高分辨率相機和多層光學顯微鏡提供了晶圓表面的微觀視圖。其先進的算法可以檢測到劃痕、汙染物和晶體變形等微觀缺陷。Puma 9130配備了強大的自動化晶圓處理系統,允許以最小的設置和操作員參與來連續生產運行。其自動化軟件還包括易於使用的用戶界面。該系統可以集成到現有生產線中,讓所有運營商在短時間內熟悉產品。系統集成功能提供了連接到現有測量系統和生產線機械的簡便方法,能夠快速響應生產過程中的任何更改或調整。此外,它的遠程訪問允許遠程監視和控制,從而提高了靈活性並加快了對緊急情況的響應。總體而言,KLA/TENCOR Puma 9130提供可靠、準確和高速的晶圓測試和計量。它易於使用的軟件、強大的自動化和遠程訪問功能,使其成為生產高級半導體的寶貴工具。
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