二手 KLA / TENCOR Puma 9130 #9214946 待售

ID: 9214946
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Darkfield inspection system, 12" 2007 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9130是一種高級晶圓測試和計量設備,提供專屬功能。該系統是為了在現代生產環境中最大限度地提高生產效率而構建的,可提供精確可靠的測量結果,作為標記和測量復雜半導體晶片的強大工具。KLA Puma 9130是一種多功能晶片測試解決方案,能夠測試各種晶片,包括:CMOS、SOI、MEMS、混合信號和電源設備。該設備配備了最新的成像技術,可精確檢測晶片上的缺陷和特征。TENCOR Puma 9130具有4 × BSE成像模式,能夠更精確地檢查設備。此外,它還提供了一系列探測功能,以支持精確的缺陷和特征定位,以及完整的2D/3D計量測量陣列。該機器利用其專利的偏振光能力,其目的是使高分辨率成像捕獲晶片表面的精細細節。該工具的高精度階段定位資產旨在對非常小的特征尺寸進行精確的測量。通過使用定位和模式識別技術,該模型可以精確測量設備結構,如門結,以及其他小特征。Puma 9130獨特的體系結構使其能夠靈活配置,即使在狹窄的空間中也能執行各種晶圓測試功能。它有一個綜合的環境室來控制環境和溫度,以便調節測試條件和減少可能損害晶片的氧化效應。KLA/TENCOR Puma 9130具有高吞吐量和快速處理能力,使其成為生產環境中的絕佳解決方案。該設備能夠每小時測試300個晶圓,並具有獨特的低顆粒環境。這與低擁有成本相結合,使其成為高通量晶圓測試和計量系統的絕佳解決方案。
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