二手 KLA / TENCOR Puma 9130 #9392082 待售

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ID: 9392082
優質的: 2008
Darkfield inspection system, parts system 2008 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9130是一種晶圓測試和計量設備,設計用於在器件制造過程中對半導體晶圓進行高精度測量。該系統包括一個自動自對準晶片級、一個視覺成像單元、各種測量和分析選項以及一套專門設計用於幫助操作員分析數據和作出更好決策的廣泛軟件。KLA Puma 9130擁有多臺相機、強大的光學顯微鏡和高度靈敏的測量儀器。這種組合使得機器能夠檢測到納米尺度極小的缺陷結構。它還可以精確地測量其他設備結構,直到一個納米的分辨率。此外,TENCOR Puma 9130的先進成像工具與其精密的空間過濾算法提供了良好的對比,從而可以對設備進行更詳細的檢查和測量。資產的測量和分析選項高度可定制,其軟件工具可幫助操作員快速查明模具缺陷、確定根本原因並推斷趨勢。使用KLA CDS軟件,用戶可以在設置測試之前模擬圖像以確定預期的行為。該軟件還與CDS數據庫集成,用於存儲和跟蹤測量結果。Puma 9130是一種功能強大且準確的模型,可用於廣泛的晶圓測試和計量應用,包括自動缺陷檢測、晶圓映射和分析以及過程控制。它具有自動化的分階段、直觀的軟件和全面的功能集,可在節省時間和金錢的同時提供卓越的效果。設備的模塊化設計使組件易於添加或升級,從而使客戶能夠擴展和調整系統以滿足其需求。
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