二手 KLA / TENCOR Puma 9130 #9398548 待售
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KLA/TENCOR Puma 9130是為生產級晶圓測試和計量而設計的精密計量和晶圓測試設備。該系統能夠對晶片進行高度精確的測量和測試,典型精度為1.2納米。該單元能夠測量晶圓的多種配置,並且可以掃描直徑達6英寸的晶圓。KLA Puma 9130是一種全自動機器,允許用戶快速準確地分析、檢查、診斷和修復半導體晶片和芯片。TENCOR Puma 9130具有專有軟件平臺,允許用戶配置和控制工具操作的所有方面。該資產由12通道光學顯微相機和三軸運動模型提供動力,該模型提供高分辨率成像,可以精確測量和分析晶圓特征。Puma 9130具有高分辨率圖像處理設備,可從圖像中獲取數據。該系統可用於檢測、測量和分析晶片特征,如臨界尺寸、線寬、邊緣放置和形狀活動。該單元還提供晶圓映射以實現半導體芯片的精確測量。該機還配備了生產級自動化缺陷檢測工具。此資產使用一系列圖像處理操作來檢測斷線、開孔、缺少顛簸和其他各種缺陷等缺陷。此外,KLA/TENCOR Puma 9130還包括一組圖像分析工具,能夠準確分析圖像中的數據。這包括高分辨率半導體特征檢測、晶圓級缺陷分析、模式輪廓和表面輪廓,以及高級計量圖。這允許用戶獲得晶圓特征的關鍵尺寸和形狀的精確測量。總體而言,KLA Puma 9130是一種生產級晶圓測試和計量模型,能夠對半導體晶圓進行精確分析和檢驗。該設備具有高分辨率圖像處理、缺陷檢測、圖像分析和計量映射功能,允許用戶從晶圓中獲取高度精確的數據。這使得該系統成為生產級晶圓測試和計量的理想選擇。
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