二手 KLA / TENCOR Puma 9150 IS #9177224 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9177224
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Darkfield inspection system, 12"
Operating system: Windows 2000 based
Modular inspection station
Modular handler (200/300mm dual open / Dual 300mm FIMS)
Flexible image computer
Optics modes
(5) Inspection pixel modes (sL20, sL40, sL60 included in every system)
Low contact chuck
Integrated ULPA filter
Data transfer (CD RW, Ethernet)
Wafer pre-aligner
Network communication
Stand alone user interface
(5) Review objectives: 5x, 10x, 50x, 100x, 150x
Advanced detection algorithms
Defect clustering
High mag review optics:
Bright and darkfield review modes
Autofocus capability
Review sampling
Earthquake restraint
Dual fims, phoenix v1.3
(25) Cassettes HW, 300 mm SW
Includes:
(1) DSW 16.3 type 2 wafer
(1) Shiny wafer
(1) Haze wafer
FFU Analog
Enhanced throughput: sL10, 15
GEM/SECS and HSMS
OHT Enabled
With cbl, G4
Signal tower: PHX (RYGB)
Option: NFS SW
Power cable: 15 m
Remote ext blower cabling, 15 m
Array mode
Currently installed
2007 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9150 IS是業界領先的晶圓測試和計量設備。先進的技術結合了精確的光學、圖像識別和計量能力，使晶圓檢測和分析速度更快、更準確。KLA Puma 9150 IS專為滿足大容量半導體制造的需求而設計。TENCOR Puma 9150 IS具有9個高分辨率、自動化的RGB攝像頭,這些攝像頭可通過多級多路復用選項對晶圓進行檢查。這可以讓使用者快速掃描晶片，尋找幾種類型的缺陷，包括表面不規則、粒子汙染物，以及像光刻錯誤這樣的過程相關汙染物。光學系統提供精確的測量到納米尺度.自動晶圓檢測過程可以實現精確、高效的晶圓表面分析。系統的計算機視覺技術使用戶能夠準確識別和分類任何檢測到的缺陷。此外,Puma 9150 IS能夠提供實時計量數據,以幫助在晶圓測試階段進行決策。KLA/TENCOR Puma 9150 IS還配備了功能強大、易於使用的軟件，簡化了圖像捕獲和分析。該軟件具有用戶友好的圖形用戶界面，並提供高級視頻圖像處理功能。此外,它的模塊化允許自定義配置以適應不同的晶圓測試和計量應用。KLA Puma 9150 IS通過自動從收集的數據中學習來實現高速吞吐量。它旨在快速、準確地驗證傳入材料,同時提供反饋,優化未來運行的過程。此外，綜合計量單元以其高精度而脫穎而出。通過利用獨特的校準，它提供了可重復和精確到納米尺度的結果。總體而言，TENCOR Puma 9150 IS是一款先進的晶圓測試和計量機，結合了最新的光學和圖像識別技術。這種可靠的工具提供可靠的晶圓檢查和計量結果，具有卓越的精度和可重復性。它的模塊化和強大的軟件使其具有高度的可配置性,使其成為滿足任何行業標準晶圓測試和計量需求的絕佳解決方案。
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