二手 KLA / TENCOR Puma 9150 #293606942 待售

KLA/TENCOR Puma 9150晶圓測試計量設備是一個提供全面、準確和可靠的半導體過程控制和缺陷分析的計量平臺。KLA Puma 9150平臺利用一系列先進的計量技術,包括散射測量、AFM和其他光學方法,為過程控制和缺陷分析提供了強大的集成能力。TENCOR Puma 9150系統通過精確測量關鍵尺寸在制造過程中有一個裝置來實現過程控制。這是一項有助於確保進程中每個連續步驟正確執行的功能。使用Puma 9150,工程師和科學家可以監控復雜的表面和特征形態以及他們在生產過程中制造的每個設備的局部層厚度。KLA/TENCOR Puma 9150單元是專門為滿足流程和缺陷分析的嚴格要求而設計的。該機具有六個可調軸和兩個垂直運動軸，並裝有先進的傳感器，如可一次測量晶圓上幾個點的多點散射儀、200 nm分辨率的逐點散射儀、5nm分辨率的掃描電子顯微鏡和自動聚焦離子束（FIB）。所有這些傳感器都提供了進行高分辨率光學和電氣測量的能力。KLA Puma 9150工具集成了一套功能強大的過程控制和缺陷分析軟件,旨在滿足最高的質量標準。該軟件能夠執行一系列處理任務，從簡單的監控和數據可視化到復雜的圖像處理、特征提取和統計分析。TENCOR Puma 9150資產提供快速、準確的計量結果，適用於可信的統計過程控制。集成模型為預測晶圓產量和質量參數提供了強大的平臺。Puma 9150的傳感器種類繁多,可準確檢測和糾正制造過程中的任何缺陷,確保在整個生產過程中優化設備性能和產量。總體而言,KLA/TENCOR Puma 9150晶圓測試和計量系統是一個有效的平臺,可提供全面、準確的過程控制和缺陷分析。其先進的計量技術和強大的軟件套件為監測和優化晶圓制造提供了可靠和可信的解決方案。