二手 KLA / TENCOR Puma 9150 #9210486 待售

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ID: 9210486
優質的: 2006
Darkfield inspection system 2006 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9150是為半導體加工應用而設計的最先進的晶圓測試和計量設備。KLA Puma 9150為晶圓測試和檢查提供了無與倫比的精確度和準確性,使各種晶圓能夠快速可靠地處理。它旨在滿足晶圓測試和測量的最極端要求,具有一流的測試時間、可重復性和產量。TENCOR Puma 9150采用高分辨率的高速彩色成像系統,帶有四個傳感器。此單元可同時測量每個晶片層和整個晶片生產。Puma 9150的高級軟件和分析提供了有關晶圓整體狀況的詳細統計數據,包括表面粗糙度、缺陷、電性能和其他特性。KLA/TENCOR Puma 9150還具有集成自動缺陷檢測(ADI)機。該工具允許自動檢測和識別晶片上的缺陷,以及跟蹤其來源和原因的能力。此外,ADI資產可以快速、準確地識別關鍵缺陷(如由過程或設備問題引起的缺陷)。KLA Puma 9150提供了廣泛的成像功能,包括照片發射、微觀範圍和熱成像。它還提供了計量、快速光學檢查(FTI)、晶片切屑等晶片測量功能。此外,TENCOR Puma 9150還能夠進行超高速電壓測試,從而加快計量任務和工藝優化。Puma 9150晶圓測試和計量模型具有靈活性,其模塊化設計使其能夠輕松集成到標準生產環境中。它還支持多種語言,使其用戶友好,方便多個用戶。總體而言,KLA/TENCOR Puma 9150是一款出色的晶圓測試和計量設備,提供精度、速度和重復性。其先進的軟件和分析使其成為晶圓處理應用的理想工具。它甚至可以識別和測量晶片中最小的缺陷,並在短時間內提供詳細的統計數據,使其成為半導體工業中的寶貴工具。
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