二手 KLA / TENCOR Puma 9150 #9217535 待售

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ID: 9217535
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Darkfield inspection system, 12" YASUKAWA Transfer robot ASYST Foup 2006 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9150是一種先進的晶圓測試和計量設備,用於晶圓上的檢測、計量和圖像分析。它具有自動化的機械臂、精確的運動控制以及強大的成像和處理功能,可快速準確地捕獲圖像和分析數據。該系統由晶圓處理級和成像處理模塊兩個主要組件組成。晶圓處理階段是一個自動機械臂,精確定位一個樣品晶圓,用於成像和分析過程,允許該單元用於各種尺寸的樣品。該階段還會調整樣品的方向和高度,以確保分析以及成像和數據捕獲的準確性。成像和處理模塊由成像機、控制接口和多個處理模塊組成。成像工具由兩個電荷耦合器件(CCD)相機組成,能夠拍攝分辨率高達10微米的圖像。此外,資產配備了多焦點光學器件,使其能夠收集有關晶片的有用信息。同時,KLA GUIMind軟件等控制接口提供了直觀、全面的用戶體驗,並對模型進行了全面控制,提供了集成的數據管理和高級分析。最後,設備包括缺陷分類模塊等幾個處理模塊,用於全面檢查和計量。這確保了系統收集到的數據是準確的,可以在晶圓集成到一個單元之前進一步分析和用於確定晶圓的任何潛在問題。KLA Puma 9150機器是晶圓檢驗和計量的重要工具,提供精確、準確、信息豐富的數據,以便進行全面分析。其自動化的機械臂和強大的成像和處理能力使它成為晶圓檢查和計量應用的絕佳選擇。
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