二手 KLA / TENCOR Puma 9150 #9378316 待售

KLA/TENCOR Puma 9150是一種晶圓測試和計量設備，其獨特設計旨在增強半導體行業的過程控制。該系統為高級晶圓級計量設定了標準，提供快速、精確、準確的測量和統計控制，以確保設備和工藝性能保持在所需的參數之內。該單元采用先進的光學機器和圖像處理技術，實現了多晶圓級測試參數配置和分析。它可以快速準確地捕捉測試對象的圖像,並且可以在板載硬盤上存儲高達4 GB的圖像數據。該工具能夠檢查和測量尺寸從5 μ m到100 μ m的特征。KLA Puma 9150提供集成的運動控制,具有快速切換的多軸級,可以在測試站點之間快速移動。該資產具有強大的控制模型體系結構,便於進行高速、高分辨率的成像和測試,從而確保在每個測試晶片上評估所有相關的設備性能參數。此外,高級設備軟件還可幫助實現圖像采集、系統維護、數據處理和結果演示的自動化。該單元的視覺機融合了LED背光燈以實現均勻照明和集成聚焦機制，有助於保持圖像清晰度和穩定性。高分辨率CCD照相機和成像工具可提供最佳圖像質量,資產可捕獲分辨率高達8K的彩色和單色圖像。TENCOR Puma 9150還具有3D成像功能,使操作員能夠根據設備制造設計目標測量實際測試性能。此外,該模型還具有強大的數據分析軟件,可提供全面、可自定義的設備性能視圖。軟件還包括有助於用戶監控和分析生產趨勢的統計過程控制分析工具。設備也支持多種數據類型,並且可以配置為生成多種類型的報告,包括針對特定任務的自定義報告,從而可以快速分析數據。總體而言,Puma 9150晶圓測試和計量系統提供了確保半導體制造過程中精度、速度和準確性所需的性能和靈活性。它的先進技術使該設備非常適合在生產設施中使用,其全面的數據分析功能非常適合工藝工程師和研發專業人員。