二手 KLA / TENCOR Puma 9550i #9258170 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9258170
晶圓大小: 12"
優質的: 2011
Inspection system, 12"
Dual films handler
With integrated mini environment DP sensor
(2) Front Interface Mechanical Standard (DFIMS):
Load ports integrated sub Class 0.1 mini environment (Front to back configuration)
Modular inspection station
Modular user interface
Auto image grab with DSA option
Low noise detection algorithms
Region based binning
Integrated high magnification review optics
Camera with auto focus
Brightfield / Darkfield viewing
Defect clustering and review sampling
Low contact chuck
Integrated ULPA filter
Wafer pre-aligner
High resolution color display
Blanket film inspection
Automated inspection
Advanced Oblique Illumination Optics
Region based multi-thresholding
IRIS Spatial filtering technology
High resolution collection optics
With polarization purity analyzers
2011 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9550i是一種晶圓測試和計量設備，設計用於高精度測量設備特征和關鍵尺寸。是來自KLA Puma家族系統的最新一代計量平臺。9550i采用了最先進的技術和創新技術,以確保無與倫比的準確性和生產力。該單元的核心是其高度集成的光學設計：具有掃描輻照度衍射成像顯微鏡（iSCOPE）和基於兩個幹涉鏡目標的雙偏轉器設計的獨特光頭，兩者均布置在多軸彎曲階段。iSCOPE允許在設備的整個表面上同時對多個標準進行成像,並能夠分析設備頂部和底部的關鍵特征大小、臨界高度/角度以及叠加測量。雙偏轉器設計既可以對臨界尺寸進行高精度測量，又可以對兩個表面進行精確的臨界高度/角度測量，運動精度為亞納米。除了優越的光學設計外，9550i還提供30毫秒單擊測量時間的高速測量、不到2秒的特征識別以及不到12分鐘全覆蓋的晶圓映射。該機還具有卓越的可重復性,5西格瑪精度為0.96 nm Critical Dimensions,覆蓋誤差為0.76 nm。為了進一步促進用戶的流程,9550i還提供了具有直觀菜單驅動界面的前瞻性用戶界面UI,從而減少了用戶培訓時間,並為自動測量和分析提供了「逐步」示例。TENCOR專有的模式識別軟件「自動特征識別」（AFR）可確保從少量掃描的圖像中獲得高吞吐量和準確的間距分析。KLA Puma 9550i是一種突破性的晶圓測試和計量工具,專為精確測量而設計,並提供任何其他競爭平臺所沒有的功能。其創新的光學設計提供了無與倫比的準確性、性能和工作效率,而其用戶界面、軟件選項和卓越的功能識別功能可幫助用戶快速識別和分析關鍵功能,從而使他們能夠更快、更高效地完成項目。9550i具有卓越的性能和用戶友好的功能,是高級精密測量的理想選擇。
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