二手 KLA / TENCOR Puma 9650 #293814960 待售

KLA/TENCOR Puma 9650是專門為半導體工業設計的自動化晶圓測試和計量設備。它結合了對圖樣晶片進行快速、準確測試的技術和多種檢測技術,以實現一整套測試功能。KLA Puma 9650系統利用光學亮場（OBF）和先進的計量技術，快速進行全晶圓檢測和測量。它具有完整的晶片成像和模式識別功能,包括增強的高分辨率彩色CCD攝像頭,可快速捕獲晶片圖像並提供晶片功能的詳細概述。它的叠加步進對準確保了叠加測量的準確性和測試結果的可重復性。該單位的計量能力包括用於納米尺度結構詳細表征的三維成像、側壁厚度和叠加/配準測量。它也可用於測量銅、鈦、砷化零等多種晶圓基板上的臨界尺寸（CD）、線寬粗糙度（LWR）等參數。為了保證精度，TENCOR Puma 9650還配備了晶圓自動對焦機和用於明場成像的大功率照明工具。這樣可以確保晶片聚焦在最高級別的細節上,並提高測量的準確性。此外,該資產還附帶了一個獲得專利的混合階段模型,它提供了在晶圓級和模具級執行兩種類型測量的靈活性。這有助於降低返工和材料成本,因為可以測試小樣本量。集成的VisionLink軟件提供了用戶友好的圖形界面,並實現了自動測試和分析。它為全面的缺陷和故障分析以及趨勢分析提供了強大的數據分析功能。該軟件還簡化了基本和復雜測量的設置過程,從而實現了快速、輕松的操作。總體而言，Puma 9650是一種最先進的晶圓測試和計量設備，旨在提供精確的測量和對圖樣晶圓的快速檢查。利用先進的計量系統和混合級系統，該裝置非常適合於光掩模缺陷檢測、非接觸式晶片探針測試、模具產量監測等應用。