二手 KLA / TENCOR Puma2 #9270869 待售
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KLA/TENCOR Puma2是一種先進的計量和晶片測試設備,旨在提高半導體晶片制造的性能和精度。該系統允許在整個晶圓制造過程中引入超高精度計量。配備了先進的一套光學和晶片檢測軟件,該單元可以快速準確地測量晶片臨界尺寸(CD)和模具地形。KLA Puma2機由高分辨率成像工具、光掩碼計量資產以及各種光學和軟件工具組成。高分辨率成像模型提供精確納米級CD的測量,允許改進過程控制和產量。該設備還允許確定晶片的輪廓和表面地形。光掩模計量系統是晶圓制造過程中光掩模缺陷和其他特征的光學檢測專用工具。它提供了一種快速準確的方法來確定面罩中存在的標準缺陷和不規則缺陷。該單元支持範圍廣泛的晶圓尺寸和IC基板幾何形狀,包括正方形、矩形、圓形和其他形狀。各種專門的晶圓處理級與機器兼容,提供了廣泛的樣品移動能力。該工具還具有自己的軟件,提供直觀的用戶界面、全面的數據管理和分析,以及集成的圖像分析庫。TENCOR Puma2資產是半導體行業過程控制和缺陷檢測的前沿解決方案。憑借其高性能成像系統、光掩碼計量功能和直觀的用戶界面,該模型提供了一種經濟高效的方式來提高產量和提高制造速度。出色的客戶支持和培訓選項使其成為小型或大型晶圓制造操作的理想解決方案。
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