二手 KLA / TENCOR Quantox XP #293830783 待售
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KLA/TENCOR Quantox XP是一種自動化晶圓測試和計量設備,可在晶圓上提供快速、準確和可追蹤的測量結果。它設計用於半導體制造環境中的生產，可用於多種半導體計量應用，包括臨界尺寸（CD）、線緣粗糙度（LER）、隔離線寬、接觸孔和器件交互矩陣（DIM）的測量。該系統由三個主要模塊組成：一個電動樣品「拾取和放置」模塊、一個掃描電子顯微鏡成像和制圖模塊以及一個微型探針樣品分析模塊。拾取和放置模塊負責將晶片定位在舞臺上，而SEM成像模塊允許對晶片上的特征圖樣進行成像。利用微探針樣品分析模塊對晶片的特性進行了深入分析。KLA Quantox XP單元的核心是GEMStar軟件平臺,該平臺旨在促進從樣品放置到特征測量的整個計量過程。該平臺設計為用戶友好,可在整個測試過程中提供全面的數據管理。GEMStar還具有廣泛的算法庫,允許執行多種類型的測量。TENCOR Quantox XP機器配備了多種自動化功能，有助於確保一致可靠的運行。該工具采用自動校準工藝，確保每個晶片的測量精度和可重復性。加上自動化的樣品加載和清洗過程，可以實現不間斷和高效的晶圓計量。該資產還擁有多種高級分析工具,包括特征識別、多特征汙染檢測、數據收集自動化優化等。此外，Quantox XP型號是為了與其他現有的KLA系統兼容而設計的。它提供了與客戶選擇的設備中其他系統的無縫集成,從而確保了過程的一致性和數據的統一性。總體而言，KLA/TENCOR Quantox XP是一個健壯的晶圓測試和計量系統，在晶圓上提供快速、準確和可追蹤的測量。KLA Quantox XP設備具有廣泛的自動化功能、強大的數據管理平臺以及與其他TENCOR系統的兼容性,是任何半導體制造環境的理想合作夥伴。
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