二手 KLA / TENCOR Quantox XP #9252245 待售
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KLA/TENCOR Quantox XP是一種結合了幾種光學、成像和模式識別技術的復雜晶圓測試和計量設備。該系統能夠對組成、幾何形狀、缺陷復雜度等進行半導體分析。它旨在提供高速、自動晶片檢查,並減少維護停機時間和增加吞吐量。KLA Quantox XP被設計用於生產過程，並以重型結構建造到最後。它包括KLA專有的「激光幹涉測量」技術，用於測量細晶圓地形，如階梯高度。該單元還擁有一套軟件工具，以提供出色的特征識別能力。它測量每個特徵的大小、形狀、對齊和缺陷行為，精度為0.5微米。該機還有一個飛行時間（TOF）顯微鏡和嵌入同一平臺的SIMS深度剖析工具。前者使用戶能夠以0.5微米的橫向分辨率檢查和分析晶片的3D地形。另一方面，SIMS深度分析資產提供了晶圓中存在的缺陷類型和數量的詳細觀察。它可以測量每種缺陷的深度,並有助於識別各種缺陷。此外，TENCOR Quantox XP還配備了用於晶圓表面成像的「MultiSpectral Imaging」技術，有助於先進的缺陷表征和分析。此外,此型號具有100毫米大的掃描視野,允許用戶一次拍攝整個晶片表面。它還具有用於烘烤消除、多尺度分析、傅立葉變換分析等高級算法的軟件，用於更精確的缺陷分析。Quantox XP是一款高效、可靠且具有成本效益的藍色晶片測試和計量設備。它提供了即使是最復雜的晶圓地形的精確和精確的測量，具有令人印象深刻的分辨率。它易於使用的軟件套件提供了直觀的用戶界面和強大的自動化分析功能。此外，它的閉環自動化確保了高生產率和重復性，使其成為任何工業晶圓應用的完美系統。
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