二手 KLA / TENCOR Quantox XP #9296678 待售
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KLA/TENCOR Quantox XP是一種晶圓測試和計量設備，設計用於綜合缺陷分析和故障診斷。它具有五個關鍵特征，使其能夠準確測量和處理來自晶圓或其他基材的掃描數據。首先，數字成像系統可以捕捉晶圓表面的圖像，從而能夠在宏觀層面和亞微米層面對晶圓幾何進行精確的檢查和測量。其次，檢測單元提供最佳信噪比和全場測量能力，分辨率高達5 µm。這樣就能夠檢測到最小的缺陷和汙染物。第三，機器先進的發光成像能力允許對摻雜映射、晶粒結構、光刻和量子點應用進行評估。第四，KLA Quantox XP專為自動晶圓映射和缺陷實時檢測而設計，實現了高流程吞吐量。它使用高級用戶定義的配方進行自動化操作,即使在復雜的環境中也是如此。最後，該工具的綜合分析和報告能力提供了晶圓缺陷景觀的詳細重建和生產缺陷的綜合表征。對於晶圓制造商而言,此資產通過識別和鑒定生產過程中的重大缺陷,避免成本高昂的返工和報廢,提供了顯著的質量改進。它易於使用,具有簡單的基於GUI的操作。此外,它是為實現可擴展性而設計的,因此用戶可以從基本模型開始,並在流程需求變得更加復雜時添加更多功能。最後，它的建立是為了提供長期使用，並配備可升級的部件，以便不斷改進設備性能。
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