二手 KLA / TENCOR Quantox XP #9296679 待售
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KLA/TENCOR Quantox XP是業界領先的晶圓測試和計量設備,設計用於半導體晶圓的高效、準確和可靠的表征。KLA Quantox XP利用先進的成像技術和高度精確的分析算法,對晶圓表面的電氣、光學和物理特性進行精確的測量。該系統的創新設計使得快速掃描大型1,000毫米和300毫米晶圓以及較小的芯片成為可能。它利用一個靈活的多攝像機和多光源平臺,該平臺采用專利的雙波長多光譜成像和精確的圖像分析算法來精確檢測晶圓表面上的任何缺陷。這種強大的成像技術可以隔離亞衍射有限的缺陷,如線寬低至0.1µm及以下。TENCOR Quantox XP的軟件包允許用戶同時查看具有精確叠加的三維曲面圖,用於比較多種晶圓和缺陷類型。Quantox XP除了提供晶圓表面不同的視覺表示外,還能可靠地測量晶圓的各種電氣、光學、機械、化學、熱和其他特性。這包括尺寸、表面粗糙度、形狀、電氣特性、光學和結構特性以及溫度的測量。該單元可以以令人難以置信的精確度測量每一個屬性,為晶圓加工工程師提供有關產品質量的寶貴反饋。KLA/TENCOR Quantox XP還具有自動評估工具,允許用戶自定義最適合其測試需求的實驗設置。這包括在同一測試程序中配置多個測試、自動測試優化和性能分析。集成分析包在完成後迅速生成全面的測試報告。總之,KLA Quantox XP是高效可靠晶圓測試和計量的理想解決方案。這臺機器具有強大的成像技術、定制軟件和精確的多參數測量,為制造半導體電路提供了最好的數據分析。
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