二手 KLA / TENCOR RE35e #9130305 待售

KLA/TENCOR RE35e是一種晶圓測試和計量設備，設計用於半導體器件的高精度表面和深層計量檢查。該系統在很小的占地面積內提供卓越的性能,而不會影響測量精度。KLA RE35e被設計為提供優越且非常精確的晶圓級測量，同時還允許更高的吞吐量速率。它包括一個先進的多軸CCD平臺,利用高分辨率的光傳輸模塊以及最先進的硬件和軟件解決方案,適用於在線和基於實驗室的計量。它具有集成的雙級模式發生器,允許測量不同的模式大小和深度。陣列生成方法可確保一致、高分辨率的結果,無論晶圓材料或工藝類型如何。TENCOR RE35e集成的聚焦和對齊算法可實現成本較低且速度非常快的測量。此外，其先進的光學模塊、柔性模式生成以及高精度的伺服電機提供了非常精確的測量，沒有在結果中引入偽影。RE35e包含了一個直觀的用戶友好軟件界面,使用戶可以輕松地為各種應用程序和任務設置和配置該單元。用戶可以輕松訪問和控制機器的許多功能。用戶可以從各種設置中進行選擇,包括計量類型（例如CD、橫向臨界尺寸、厚度等）、曝光設置（傾斜度、焦點、曝光時間）和獲取的數據采集參數（例如采樣率、增益、線性等）。該工具還提供多種高級功能，如多站點測量識別、自動晶圓映射、信號分析和光學模型構建。這允許用戶獲得非常精確的測量,同時仍允許更快的吞吐量。KLA/TENCOR RE35e是用於研究和生產目的的理想選擇,因為它能夠進行精確和快速的晶圓級表面和深層計量檢查。它將最大限度地提高效率,降低錯誤率,並確保可靠的數據。