二手 KLA / TENCOR RS-35 #9137627 待售

KLA/TENCOR RS-35是一種先進的晶圓測試和計量設備，旨在為用戶提供有關半導體晶圓狀況的精確信息。該系統使用先進的光學和數字成像來檢測和測量晶圓表面的物理異常。一旦發現異常，就可以評估其對晶片質量的影響。該單元基於KLA SensArray光學探測器，能夠測量小至8nm的物理證據。SensArray Detectors使用高分辨率數字成像來創建晶圓表面的圖像,其銳度是傳統成像系統的1000倍。得到的圖像顯示晶片表面可能存在的任何異常，如劃痕、碎屑或凹坑。KLA RS-35使用與傳統光學計量系統相同的原理進行測量，但提高了速度和精度。該機每小時最多可對400個芯片進行測量，分辨率為1nm。這樣可以更快地檢測瓦夫表面的潛在缺陷。它還確保在開始生產之前查明並處理任何損害。TENCOR RS 35還包括缺陷分類的集成模塊。本模塊利用了一種算法，該算法旨在將檢測到的異常分為幾類，如模式不規則性、電阻率變化或粒子缺陷。這允許用戶快速識別潛在的問題缺陷,並采取糾正措施以確保最終產品的最高質量。此外，RS-35還包括晶圓平坦度模塊。本模塊測量晶圓平坦度,並確定可能導致生產問題的非平坦區域。此模塊有助於確保使用刀具制造的晶片符合最高標準。RS 35是一種強大可靠的測試和計量工具，為用戶提供了一種高效準確的識別晶圓潛在缺陷的方法。其先進的光學、數字成像和缺陷分類功能確保用戶能夠快速準確地評估其晶片的質量。