二手 KLA / TENCOR RS-55TCA #9191837 待售
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ID: 9191837
優質的: 1995
Automatic resistivity mapping system
Type: Probe B
Measurement specifications:
Measurement range: <5 mohm/sq to >5 mohm/sq
Typical measurement time: 3.5-4.5 Seconds per test site
NIST(NBS) Standard wafers corrected to 23°C: ±1 %
Measurement repeatability: <0.2%
Temperature measurement accuracy: ±0.5°C
Temperature measurement repeatability: ±0.5°C
Routine check: 1-30 Sites programmable
Contour / 3-D map
Diameter scan: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 Sites
XY Map: Up to 1200 Sites programmable
Probe qualification: (20) Sites
P-N Typing
Single / Dual configuration options
Hardware specifications:
Standard wafer sizes: 100, 125, 150 & 200 mm
Thick substrate option: 6 mm Thick materials
Color HP paintjet printer
Dot matrix printer
High resolution color monitor
Power requirements: 115/230 V, <8 A, 50/60 Hz
Vacuum: 500 mm Hg
Vacuum: 300 mm Hg
Pressure: 40-50 psig (3.3 bar)
Pressure: 40-60 psig (3.3 bar)
486/33 MHz Computer
486/25 MHz Computer
110 MB Fixed hard disk drive
40 MB Fixed hard disk drive
44 MB Removable hard disk
3.5" Diskette drive
1.44 MB Capacity
Analysis capabilities:
Contour, XY, Die
3-D Surface maps
Diameter scans
Trend charts
SQC Charts
Histograms
Probe qualification procedure
File editing & data extraction capability
Calibration curves for low-dose monitoring
Average, difference & ratio maps
Data transfer capabilities:
SECS II / RS232 Communication
Enhanced SECS II for fully automated operation
1995 vintage.
KLA/TENCOR RS-55TCA是一種用於半導體制造的晶圓測試和計量設備。它提供晶圓級的測量和分析,可用於評估表面形狀、電極寬度、尺寸和幾何特性等廣泛的器件參數。該裝置能夠分析尺寸高達0.8 μ米的特性,是精確測試亞微米器件的絕佳工具。KLA RS55TCA的一個主要優點是它能夠利用時間分辨的測量技術來評估高精度的敏感器件特性。這是由系統強大的相移幹涉儀(PSI)傳感器啟用的,該傳感器與實時差分信號處理器協同工作。這種組合能夠檢測短時間內觀測之間的微小變化,與傳統技術相比,測量結果精確度極高,測試吞吐量更快。該單元由幾個組件組成。機器人終端效應器能夠定位晶片,以便通過PSI傳感器以線性運動或基於點的光柵掃描進行掃描。半導體帶式輸送機和晶圓平臺為晶圓在測試過程中提供了一個安全的平臺。光學顯微鏡頭可實現晶圓表面的高分辨率放大成像和隨後的數據分析。最後,TENCOR RS-55 TCA包括一個集成的控制和分析單元,該單元由個人計算機、集成的電機控制單元和相關軟件組成。該單元功能強大,足以控制晶片位置,處理來自PSI傳感器的數據,產生高質量的測量和分析結果。總體而言,RS 55 TCA是一種功能強大的晶圓檢測和計量工具,由於其時間分辨率高的測量機器,提供了卓越的精度和快速的吞吐量。其多功能能力和集成控制系統使其成為先進半導體研發的理想選擇。
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