二手 KLA / TENCOR RS-55TCA #9195303 待售

KLA/TENCOR RS-55TCA是為半導體制造和IC設計而設計的晶圓測試和計量設備。它是一個完全自動化的系統,支持高分辨率缺陷分析、產量管理、過程控制和故障分析。該單元在監測和控制集成電路生產方面提供了高精度、重復性和可靠性。KLA RS55TCA機結合了CCD（電荷耦合器件）傳感器、模片對齊器和多軸級，提供高分辨率和卓越精度的圖像。CCD傳感器使用獲得專利的光學成像工具在單個模具和模具級別捕獲不可見信息。然後采用先進的顯微鏡成像技術對10-40 µm的缺陷進行分析和檢測.晶片對齊器記錄晶片地形，並提供了一個大的視野來準確定位和識別缺陷。多軸級為精確定位和移動提供了高精度的運動。TENCOR RS-55 TCA用校準盒校準，確保在亞微米級精確計量。該資產能夠從晶圓上的不同位置測量多達八個不同的參數。TENCOR RS 55 TCA從一直的模具測量到宏觀水平的光電倍增管測量，都可以檢測到集成電路生產過程中可能出現的任何不規則性。該模型還能夠檢測薄膜沈積、晶粒結構、橫截面成像和TEOS（原矽酸四乙酯）沈積等特征。RS-55TCA是一種先進的芯片制造和制造計量工具。它旨在提供高精度和可重復性,同時提供可靠的數據,以幫助進行產量管理和過程控制。此工具可幫助確保最終產品的質量保證,同時還可識別和緩解生產問題。KLA/TENCOR RS 55 TCA堅固的多軸級、CCD傳感器和模片對齊器為精確可靠的晶片測試和計量提供了強大的組合。