二手 KLA / TENCOR RS Series #293597083 待售

KLA/TENCOR RS系列是一種最先進的晶圓測試和計量設備，設計用於對微電子生產和包裝進行高效、準確的監測。它是一個完全自動化的系統，允許對晶圓表面進行快速和可靠的測試。KLA RS系列由三種不同型號組成，具有鮮明的特點和功能。RS 300模型是為具有臨界尺寸掃描單元或CD-SEM的高級3D過程控制而設計的。它能夠檢測表面缺陷和粗糙度，具有很高的精度和可重復性，即使在最小的電路模式。RS 300還包括一個光學顯微鏡模塊,它具有彩色視頻功能,可提供高分辨率圖像,並測量薄膜厚度、蝕刻深度/輪廓、晶粒尺寸和光學特性。RS 500模型用於表面和薄膜的精確計量。它配備了介電白光反射儀，能夠分析和測量晶圓的介電特性，而無需樣品接觸。這樣可以在整個晶片表面上獲得更精確和一致的結果。該模型還包括質譜儀模塊，能夠分析和量化氣體汙染物和惰性物質。TENCOR RS系列中最先進的型號是RS 1000,它是為生產環境中的高性能、映射級測量和監控而構建的。該模型包括一個集成的透射透射電子顯微鏡（TEM）機器，用於直接觀察納米結構和特征。該工具還配備了基於幹涉儀的「非接觸式」三維表面測量資產，使低噪聲和殘留相位測量能夠比以往任何時候都更加精確和精確。總之,RS系列是先進晶圓測試和計量的理想解決方案.它可以提供對表面特性和納米翅目的精確測量，能夠監測汙染水平，並提供無與倫比的數據分析能力。它的自動化模型確保了快速高效的結果，從而提高了生產效率，改進了微電子制造的質量控制。