二手 KLA / TENCOR SFS 6200 #9083816 待售

KLA/TENCOR SFS 6200是為半導體制造業設計的下一代晶圓測試和計量設備。它提供超精確的分析和快速的吞吐量,以實現高效可靠的生產。該系統能夠進行基板測試、表征表面、圖樣檢查和計量，以及數據提取和晶圓幾何表征。它還能夠進行過程監測和監管。該單元展示了高速、高精度的光學掃描，允許在8英寸和12英寸晶圓尺寸範圍內最多16微米的行程。機器的高靈敏度光學檢測器提供快速準確的測量，確保準確無誤的測試結果。為了保證晶圓的完整性和優越的表面粗糙度，測量結果與一微米以內的範圍相關。該工具配有三個攝像頭，兩個配有線性舞臺，一個配有自由光束。這提供了高效和通用的表面掃描,並在X和Y平面中進行了測量和檢測。線性級允許在兩個平面中精確移動,從而能夠對樣品表面特征（如顛簸、凹坑、劃痕、扭曲表面和缺陷）進行高精度測量。KLA SFS 6200結合了先進的光學、運動、軟件和電子設備,具有優於1 sigma的性能和精確度。它還使用創新算法收集表面數據，最大化每個晶圓中的可用信息。總體而言,TENCOR SFS6200是一種功能強大且用途廣泛的測試和計量資產,可提供卓越的吞吐量時間和最高的準確性。它能夠進行表面分析和表征，在半導體生產中提供卓越的性能、速度和效率。