二手 KLA / TENCOR SFS 6420 #293755921 待售
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KLA/TENCOR SFS 6420是一種晶圓測試和計量設備，旨在方便進行全晶圓分析，使最先進的半導體設計得以發展、制造和高產。該系統擁有廣泛的前端和後端流程優化功能。該設備的核心是獲得專利的晶圓掃描電子顯微鏡，它提供高通量和優越的圖像質量。這在一定程度上是由於其先進的對齊能力使得能夠在很大的晶圓區域進行精確的采集。此外,晶片上的SEM還提供高分辨率成像、晶體取向確定、過程控制、屈服分析和所有特征類型的地形。KLA SFS 6420包括高級光譜成像等附加功能，以極高的精度檢測和測量金屬、絕緣體、氮化物和多晶矽等材料。還包括一個掃描擴展電阻顯微鏡（SSRM），用於深入測量半導體器件，如晶體管、電阻器和傳感器。通過將精確的晶圓測量與功能強大的基於軟件的分析工具相結合，SSRM可以提供高分辨率的電氣參數剖面。此外,TENCOR SFS 6420集成了光導光束傳感器,可快速可靠地測量串聯尺寸和臨界尺寸（CD）。這類測量可以幫助檢測缺陷，檢測新技術節點，並在產量調查期間優化流程。此外，該機還提供電子束感應電流（EBIC）技術，在一次掃描中無損測量多種摻雜劑類型和濃度。該工具還可以通過基於Windows的用戶界面進行用戶友好和用戶配置。此資產提供了一整套SPC和Yield分析工具,可用於快速高效地識別過程漂移、缺陷和非最優條件。SFS 6420是一項先進的技術,可提供完整的晶圓分析,並能夠開發、制造和高產最先進的半導體設計。作為一種功能強大的晶圓測試和計量模型,它可以降低成本並加快半導體制造業客戶的流程優化。
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