二手 KLA / TENCOR SFS 6420 #293821383 待售
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KLA/TENCOR SFS 6420是一款高性能晶圓測試和計量設備,專為半導體行業的廣泛應用而設計。它是為提高效率和可靠性而設計的小占地面積系統。它能夠對晶片進行全面的綜合測量和測試,並具有全方位的地形過程。KLA SFS 6420以先進的激光掃描技術為基礎,能夠在一次運行中在整個過程中提供嚴格的測量精度。它具有測量晶圓表面地形的二維光束。該集成單元的數據中繼到用於實時分析和報告的復雜軟件。一種自動算法可以識別超出規格的流程,因此操作員可以實時采取預防措施。TENCOR SFS 6420有一個集成的全場光學機器,用雙激光對比度一次掃描整個晶片。此工具與獨特的集成XY瞄準平臺相結合,可確保測量的準確性和可重復性。它能夠以5 x 2 mm的增量掃描晶片,並實現高達0.25 μ m的高分辨率。SFS 6420還具有一系列故障安全功能,可確保資產平穩運行。先進的溫度穩定使模型的性能保持最佳,同時獲得專利的兩步膠片高度映射保護,以防止機械和電子錯誤。還有一些集成的安全功能,可防止未經授權訪問其數據或組件。總之,KLA/TENCOR SFS 6420是一種先進的晶圓測試和計量設備,旨在提高效率和可靠性。它是半導體工業的理想選擇,提供具有雙激光對比度、嚴密測量精度和一系列故障安全特性的集成全場光學系統。
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