二手 KLA / TENCOR SFS 7200 #9200112 待售

KLA / TENCOR SFS 7200
ID: 9200112
Inspection system.
KLA/TENCOR SFS 7200是一種精密晶圓測試和計量設備,融合了一系列先進的晶圓測試和計量技術。該系統可對各種半導體晶圓類型進行高精度、高精度的測量。該設計利用模式識別、熱成像和高分辨率自動光學檢查以及圖像分析來精確測量晶圓表面上芯片的大量模具級數據。KLA SFS 7200提供了評估高級半導體性能特性所需的一組強大功能。其晶圓探測技術得到了先進的檢測單元的支持,該檢測單元可以測量多種電氣特性,如電流泄漏和電阻。該套性能和計量功能包括截止電壓測量、自動光檢測、接觸檢測和模具平整度測量。TENCOR SFS7200能夠處理多個晶片基板,包括平板顯示器、藍寶石矽、碳化矽、絕緣體矽、光學和金屬化晶片。其先進的圖像處理系統可以精確定位晶片上的凹槽、臺階、孔、凹坑、凸點、通道和其他特征。KLA/TENCOR SFS7200可以識別表面模具的材料類型、幾何形狀和電氣特性,並提供自動化數據分析以提供測試結果的詳細報告。這臺機器還允許工程師創建自定義測試例程並分析尖端設備的結果,使他們能夠快速識別缺陷並優化其過程。SFS7200可用於檢查多種材料,包括銅、鋁、鋼、多晶矽、多晶、化合物和砷化銨晶片。該工具還集成了集成控制系統,以精確調整光軸,用於查看晶圓表面。通過這些功能,TENCOR SFS 7200可以驗證高級流程性能的標準。總體而言,KLA SFS7200是一種高度可靠和精確的晶圓測試和計量資產,具有一系列傳感能力。它是測量、診斷和表征復雜半導體模具特性的有效工具,使工程師能夠簡化其工藝並生產出質量最高的零件。
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