二手 KLA / TENCOR SFS 7600 #293645416 待售

KLA/TENCOR SFS 7600是為高性能晶圓檢測分析而設計的下一代晶圓測試和計量設備。它是一個可擴展和模塊化的平臺，支持一系列的基板，包括矽，復合半導體，有機和具有廣泛的測試配置。該系統可配置為測量臨界/整體尺寸（CD/OD）或臨界尺寸小角度/CDSA、多模/CDMD和未對齊/叠加。該設備配備了先進的光學設備、高分辨率圖像分析和基於視覺的自動化測試功能,可檢測和表征分辨率高達5nm的缺陷。除成像和檢查技術外，還集成了一系列全面的計量工具，包括四維激光掃描顯微鏡、光學和掃描電子顯微鏡以及通用光學系統，從而能夠測量邊緣分辨率和其他臨界基板。KLA SFS 7600還支持廣泛的晶圓級計量和測試能力，包括總晶圓應力/應變和電氣測量、光學臨界維度（OCD）測定以及熱殘余應力測量。它還提供了先進的智能分析工具組合，如有針對性的抽樣和自動模式識別，以及廣泛的自動化測試和數據報告流程，以確保高效和準確的結果。該機器設計用於各種工業應用，從研究和汽車到航空航天和消費電子。它提供高質量的圖像、高級處理和準確的數據,用於識別和表征缺陷,以幫助確保產品質量、過程一致性和產量控制。除了高度可配置和易於使用外,TENCOR SFS7600還與其他晶圓測試系統和企業解決方案無縫集成,以實現全面的數據管理和可追蹤性。