二手 KLA / TENCOR SFS 7600 #293808150 待售
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KLA/TENCOR SFS 7600是一種晶圓測試和計量設備,設計用於廣泛的半導體織物和鑄造廠的高性能。它配備了多種先進的特征解決方案,包括多級檢測、高密度晶圓映射以及先進的缺陷檢測。該系統能夠分析各種形狀和大小的樣品,包括全晶片。KLA SFS 7600旨在協助檢查和測量模具的模擬和數字電路以及物理尺寸。該裝置配有光學顯微鏡,使用戶能夠以極高的分辨率檢查圖像。可檢查區域為300 mm x 220mm,可通過使用額外的基板進行擴展。此外,該機器還可以結合一系列高端配件,如光學濾波器、專門的測試技術和各種探針,為各種復雜的檢查應用量身定制。TENCOR SFS7600還配備了最先進的計量能力,允許精確測量晶圓表面的物理特征。這包括卡盤和舞臺的精確對齊,以及定制設計的自動對焦解決方案。該工具還能夠進行多階段測量,使用戶能夠分析埋藏層的特性,並調查復雜的結構,如自組織金屬網格。此外,還可以對資產進行校準,從而允許用戶在一系列條件下確保準確的結果。該模型還提供了一套自動化缺陷審查解決方案,可用於簡化檢查過程。設備可以生成可定制的報告,提供缺陷的圖形精確圖像,並隔離和存儲缺陷數據以供後續查看。此外,SFS7600有多種統計分析解決方案,使用戶能夠準確識別潛在的減產趨勢。總體而言,KLA/TENCOR SFS7600是一種通用的晶圓測試和計量系統,能夠以最高分辨率提供精確的數據。它結合了先進的技術、自動化的工具和可定制的報告,使其成為半導體制造商和鑄造廠的寶貴解決方案。
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