二手 KLA / TENCOR SFX 100 #293761851 待售

KLA/TENCOR SFX 100是一種晶圓測試和計量設備，為矽片制造過程提供高度精確的結果。它旨在快速、精確地分析各種矽片參數，從而實現快速、高效的質量控制管理。KLA SFX 100的主要部件是消色差自動/手動對準系統、自動/手動對準處理器和自動對準顯微鏡。消色差單元使用兩個彼此相對安裝的CCD攝像機，提供儀器視野內晶片的精確對準。機器還配備了自動對齊模塊，該模塊使用算法定位、識別和跟蹤晶圓的陣列點，以便在不到一秒的時間內精確對齊。TENCOR SFX 100具有強大的光學工具,可進行自動晶圓測量,並提供手動和自動計量功能。資產可以測量各種參數，包括切割/蝕刻、峰值表面粗糙度和線寬，精度高達0.5納米，以及光刻材料層和其他特征。SFX 100還能夠逐片優化，以確保批處理盡可能高效。這是通過合並閉環反饋模型來實現的，該模型允許用戶在測量晶圓參數後立即對其進行必要的調整。這有助於減少傳統的開銷操作所花費的時間,例如在運行實驗時校準和優化設備。此外，KLA/TENCOR SFX 100可以利用高精度激光幹涉儀檢查晶圓幾何形狀。它可以精確測量包括線寬、特征高度、拐角半徑和非線性分布在內的各種臨界幾何和尺寸參數。總體而言，KLA SFX 100是一種先進的晶圓測試和計量儀器，非常適合半導體制造。它提供了高精度和高精度的各種關鍵參數的高效測量。系統的自動化和手動對準解決方案確保每個晶片都能準確定位在儀器的視場內。此外，TENCOR SFX 100的高精度激光幹涉儀和閉環反饋單元使用戶能夠快速高效地定制晶圓的參數。