二手 KLA / TENCOR SFX 100 #9249578 待售

KLA/TENCOR SFX 100是一個晶圓測試和計量系統，提供對基板和薄膜的自動化測試和分析。該系統有兩個主要組成部分：一個用於成像和薄膜計量的光學模塊和一個用於高分辨率電氣測試的電子模塊。對於光學分析，KLA SFX 100有一個頻率調諧的「廣域」顯微鏡。這允許對大晶圓表面進行非接觸、無損成像。它能夠觀察地形和微觀結構等各種參數。加上某些配件，可以測量薄膜厚度和粒徑。電子模塊由四個獨立的儀器組成。這包括一個激光幹涉儀和一個用於測量高頻信號的電壓探針，以及一個用於測量基板橫跨給定區域的橫向電特性的掃描儀級和壓力掃描儀。該模塊可用於測量基板的電阻，以及設備的電容和電流。TENCOR SFX 100提供對設備、基板和薄膜的快速、自動化分析。它只能通過選擇探針和附件來快速準確地測量範圍廣泛的參數。它非常適合於薄膜器件的快速測試，並提供晶片的電氣、光學和結構特性的詳細見解。