二手 KLA / TENCOR SFX 100 #9351463 待售

KLA/TENCOR SFX 100晶圓測試和計量設備是一個下一代平臺，專門設計用於啟用測試、檢驗和計量過程。該系統利用自適應光學、5軸運動控制、自動模式識別算法和高速傳感器元件，能夠對集成電路和光電元件進行精確測量。KLA SFX 100可以測量各種類型的電信號和光信號，包括Si/SiO2層、線路/空間、隔離形狀和特征大小。該設備能夠檢測和校正像差，並以出色的可重復性和準確性顯示表面變化。TENCOR SFX 100的自適應光學和運動控制動態調整成像臂的成像平面透鏡、光圈和運動平面，以優化信號接觸和強度水平。5軸運動控制使元件測試和計量過程中的振動最小化,並允許掃描大面積元件。SFX 100包括用於組件識別的自動模式識別算法和用於信號處理和缺陷檢測的自動信號和特征識別算法。該機與內置信號評估技術集成，可快速、準確、高效地輸出數據。它還可以為制造分析和驗證創建詳細的元件和刀具模型。KLA/TENCOR SFX 100具有直觀的用戶界面和圖形用戶界面,用於簡單的設置、操作和報告。它還與SCI（或Standard Calibration Interface）集成，用於高效的數據交換、與其他系統的集成以及批處理。總而言之,KLA SFX 100是一種高度復雜的資產,專門設計用於實現高精度測試、檢查和計量過程。它結合了自適應光學、5軸運動控制、自動模式識別算法和高速傳感器元件，能夠對集成元件和光電元件進行精確測量。其直觀的用戶界面、自動信號和特征識別算法，以及內置的信號評估技術，簡化了組件測試和計量的過程。