二手 KLA / TENCOR SFX 200 #293587424 待售

KLA/TENCOR SFX 200是一種晶圓測試和計量設備，提供故障分析和工藝優化所需的精度和控制。該系統非常適合半導體行業使用,提供各種高級功能和優勢,使其成為設計師和工程師的首選。KLA SFX 200單元的核心是具有高分辨率二次電子檢測器和高真空電子源的多區掃描電子顯微鏡（SEM）。機器的模塊化設計允許整合各種樣品準備模塊，如樣品清洗和塗層，以便進一步調查計量樣品。工具的大工作區域（標稱視野為200毫米）為多種MEMS或片上資產設計提供了空間,同時結合了諸如亞微米分辨率和自動化等關鍵功能。可供使用的各種晶圓考試系統使用戶可以根據特定需要設計和定制自己的系統。例如，模型采用非接觸式的自上而下成像方法，消除了在工作表面上準備和修理鉆孔試樣的需要，同時提供精確的測量和成像。設備還使用多個光源來識別、表征和數字化晶圓表面的任何缺陷。所有這些功能都可以配置和編程,以改進調查的分析任務。TENCOR SFX 200的圖形用戶界面（GUI）旨在幫助輕松跟蹤、分析、報告和歸檔測試數據。該系統提供了信號采集、數據可視化和自動化工具的強大組合,以簡化工作流程。開放式體系結構編程可確保任何平臺都可以輕松集成到測試設置中。為了獲得額外的價值，該單元與可選的SPC、FDC和統計分析軟件完全兼容。SPC功能確保樣本配置文件符合協議,而FDC量化測試參數的準確性和可重復性,並為分析提供有意義的數據。集成的統計分析軟件還幫助用戶創建關聯、標準化行為以及有助於過程優化和缺陷表征的繪圖。總體而言,SFX 200晶圓測試和計量機是一種通用、用戶友好的解決方案,它可以使晶圓測試和計量學更快、更容易、更準確。憑借其高分辨率的成像和廣闊的工作區域，該工具使用戶能夠完成復雜設備的全面診斷和表征。該資產的先進特點使其成為故障分析和工藝優化的理想選擇。