二手 KLA / TENCOR SLF17 #293661244 待售
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ID: 293661244
Reticle inspection system
Reticle loading:
SEMI Standard reticle: SLF17HR-Ursa handle
SLF17HR-Ursa automatic loading with SAL
Reticle dimensional:
Sizes: 5", 6", 7"
Front pellicle height: 6.3 mm
Back pellicle height: None
Maximum pellicle dimension: 149.3 mm x 122 mm for 6" W-DUV reticle
Reticle pattern: 7 mm
Internal storage: FAL Magazine
Pixel sizes: 150, 186, 250 nm
Image acquisition:
Wavelength laser: 364 nm
UV Sensors for transmitted and reflected light
Through-the-lens automatic focusing system
Air-bearing reticle stage with laser interferometer
Data automation/Connectivity:
100 BaseT Network connection
Interface with 97i platform SL3UV and (KLA98/99).
KLA/TENCOR SLF17是專門為滿足半導體制造商需求而設計的晶圓測試和計量設備。它提供了先進的技術和高效率地進行各種晶片級測試和測量各種關鍵參數以達到最大的芯片產量和質量的能力。KLA SLF17是一個集成的計量學系統,它提供了一整套自動化的測試和測量解決方案。它基於模塊化體系結構構建,使操作員可以根據需要輕松擴展設備並添加其他組件。這使用戶能夠根據其過程要求和產品目標自定義計算機。TENCOR SLF 17的靈活體系結構確保它可以用於嚴格的晶圓級測量,這些測量對於當今最先進的半導體工藝至關重要。SLF17可以配備廣泛的測試、成像和測量能力。其主要測試子系統包括一個電光檢測模塊、模模測試和示波器。該工具還具有自動晶片處理和標準定位控制模塊以及高級數據采集軟件。這種硬件和軟件的結合使得KLA/TENCOR SLF17以最大的速度和準確度進行晶圓測試的理想工具。此外,KLA SLF17還提供多種可選功能,使資產更加強大。選項包括高密度晶圓映射、帶有電氣探測模塊的缺陷捕獲、模具級成像系統、缺陷映射引擎以及長期存儲解決方案。這種廣泛的功能使TENCOR SLF17高度通用,非常適合執行各種晶圓級測試和測量。總體而言，SLF17晶圓測試和計量模型是一種可靠和先進的計量設備，可以提供一系列自動化的測試和測量功能，以實現最高質量的半導體芯片。從先進的硬件到靈活的體系結構,KLA/TENCOR SLF17是當今要求最苛刻的半導體制造工藝的理想選擇。
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