二手 KLA / TENCOR SLF17 #293809082 待售

KLA/TENCOR SLF17是一種自動晶圓測試和計量設備，設計用於晶圓特性的測量和分析。它是將自動晶圓探測站的能力與光學顯微鏡、掃描電子顯微鏡、橢圓偏光計和傅立葉變換紅外光譜儀等計量儀器相結合的集成系統。KLA SLF17具有兩個SmartScan T2000 Advanced Wafer Prober,可以執行一系列晶圓探測和測試操作,從測量接觸電阻到識別短路和打開。晶圓探針安裝在一個傾斜的光學臺下，作為各種計量儀器的基礎。該單元還包括一個探針對準級、四個Z級、熒光照明機、四個角級、四個溫度控制器和一個用於成像的CCD攝像機。Z-Stages和Angle Stages有助於定位用於在晶圓上查看和成像樣品的計量儀器。每個計量儀器都安裝在XYZ平移工具上,以便在晶圓上進行定位。這一資產還能夠自動識別和交換各種工具。TENCOR SLF17還包括一種運輸模式，它允許在不同的計量儀器之間自動將樣品從盒式磁帶轉移到盒式磁帶。這款設備的亮點之一就是高速運行，每次測試只需幾秒鐘。該系統能夠進行各種計量測試，如光學成像、AFM（原子力顯微鏡）、拉曼光譜、橢圓偏振、蝕刻速率分析和透射電子顯微鏡。此外,SLF17還提供各種數據計算功能,使客戶能夠更好地了解計量結果。數據計算算法可用於分析CD（臨界維度）和摻雜濃度等事物，從而為晶圓過程提供有價值的見解。該單元還具有廣泛的特性和功能，使用戶能夠根據自己的特定測試和計量要求定制自己的機器。此外，科航還提供廣泛的培訓和支持，以確保用戶能夠最大限度地發揮這種晶圓測試和計量工具的潛力。