二手 KLA / TENCOR Spectra FX 100 #9257025 待售
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已售出
ID: 9257025
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Thickness measurement system, 12"
EFEM
UI
(2) SEMES Tool buffers
Operating system: Windows XP
(2) BROOKS ISO Load ports
PRI Transfer robot arm
SMIF / FOUP
Missing parts:
Fine focus board
Tilt board
MCB Board
Stage chuck
Monitor
Focus flipper
UV Filter
PC
CPU Board
Frame board
Hard Disk Drive (HDD)
Power: 208 V, Single phase
2004 vintage.
KLA/TENCOR Spectra FX 100是一款晶圓測試和計量設備,設計用於半導體行業的最高性能和可靠性。憑借其先進的計量能力,它提供了對各種晶圓特征的最精確和精確的測量。它用於工藝優化和批量驗收,確保在整個制造過程中達到最高的質量和性能標準。KLA Spectra FX 100配備了全方位的測試和測量能力,包括工藝表征、缺陷檢測、薄膜厚度測量、叠加測量和缺陷審查。它能夠測試和測量具有納米分辨率的特性,使其成為同類系統中最先進的系統。它還被設計為允許用戶創建自定義的測量操作和解決方案,使其能夠適應幾乎任何過程。TENCOR SPECTRA FX100具有許多先進的功能,使其成為高性能過程的理想工具,包括高度校準的高級飛行檢測單元和高精度激光視覺機。先進的飛行檢測工具被設計用來檢測和精確測量即使是最小的晶圓特征準確和快速。激光視覺資產被設計成以三個或六個自由度檢查晶片,甚至可以精確測量最具挑戰性的幾何形狀。KLA SPECTRA FX100具有可靠的硬件和軟件,並具有嚴格的校準過程,可確保所有測量都符合規格。它還包括一臺功能強大的板載計算機,用於數據分析,使用戶能夠快速分析、比較和微調流程。此外,閉環計量模型保證了可重復的準確性和質量。設備也極為人性化,設置、操作和維護簡單。綜上所述,KLA/TENCOR SPECTRA FX100是一個晶圓測試和計量系統,設計的精度和精度最高。它能夠測試和測量具有納米分辨率的特性,並配備了高度校準的先進飛行探測單元和高精度激光視覺機等先進特性。該工具還具備可靠的硬件和軟件、嚴格的校準過程以及用於數據分析的強大板載計算機,以實現可靠性和準確性。此外,該資產非常方便用戶,易於設置、操作和維護,使其成為高性能流程的理想工具。
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