二手 KLA / TENCOR Spectra FX 200 #293712932 待售
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單擊可縮放
ID: 293712932
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Thickness measurement system, 8"
Upgraded from F5X
Single open handler
BROOKS / PRI AUTOMATION ESC-212B-S293 Controller
Signal tower
XENON Arch Lamp source
Options:
SE
DBS
GEM / SECS and HSMS
Operating system: Windows XP
Power supply: 220 V, Single phase, 3 Wire, 15 A, 50/60 Hz
2000 vintage.
KLA/TENCOR Spectra FX 200是一種晶圓測試和計量設備，旨在提高前沿半導體器件的產量和可靠性。它結合了幾項先進技術，為半導體制造提供了一個全面的解決方案，包括光學計量、缺陷成像和內聯電氣測試。KLA Spectra FX 200是一個靈活且可擴展的平臺,允許對各種設備進行高效而準確的測試。系統采用光束截取和先進算法的獨特組合，精確映射橫截面面積，以及生產速度下的界面缺陷。它還具有集成的在線電氣測試功能,能夠測試直徑不超過4英寸的晶片。這使得該單元非常適合晶圓測試和計量任務，同時提供高速度和準確性。除了光學計量能力外，TENCOR Spectra FX 200還提供了強大的缺陷檢測機。內置的智能缺陷成像模塊使用幾臺精密攝像機和一臺輕型發動機，對高達8微米深度的缺陷進行高精度的檢測和分析。這允許快速檢測潛在的產量限制缺陷。Spectra FX 200還具有高級缺陷識別功能。該工具的算法旨在以最小化誤報並確保最佳產量的方式識別缺陷並對其進行分類。這樣可以確保僅識別出該問題的缺陷,從而允許用戶采取適當措施解決這些缺陷。KLA/TENCOR Spectra FX 200的性能以集成用戶界面為後盾。此圖形用戶界面（GUI）允許用戶從測試過程中的任何位置快速檢索、查看和分析測試結果。這樣可以方便地獲取信息,從而提高準確性和效率。KLA Spectra FX 200是一種功能強大、用途廣泛的晶圓測試和計量資產。它提供了先進技術和綜合功能集的獨特組合,為用戶提供高效、可靠和準確的解決方案,以生產高產半導體器件。
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