二手 KLA / TENCOR Spectra FX 200 #9205856 待售

KLA/TENCOR Spectra FX 200是一種晶圓測試和計量設備，設計用於測量晶圓材料的極化、光譜含量和光學質量。該系統為各種應用提供了通用的解決方案,從質量控制和晶圓高通量篩選到確定曲面上塗層的光學特性。該單元采用模塊化設計，允許用戶根據自己的獨特需求進行定制。該機器每秒最多可進行50次測試，並配備了記錄和分析數據的軟件。其先進的成像和光學元件使用戶能夠在一個圖像中捕獲整個晶圓表面，並獲得完整的光譜信息。KLA Spectra FX 200提供一系列配置選項,可根據各種性能規格進行定制。它配備了一個8英寸角度的墻面適配器、一個光譜儀模塊、兩個不同的偏振板、一個帶有XYZ定位器的對準臂、軟件模塊以及一個完整的XYZ旋轉級。Illumination/Optics Bridge允許自定義光源，允許用戶調整和操縱調整圖像的亮度、對比度、色度和色調。此外,其光學臺上有一個空氣軸承底座,可平滑、精確地平移XYZ級,而其觸摸屏界面可完全控制該工具,以確保準確的結果。TENCOR Spectra FX 200還包括高級報告和分析功能。該軟件能夠使用高對比度和低通濾波器識別缺陷，而其極化測量模塊提供了雙折射的精確測量。其暗場成像模塊允許對晶圓表面進行遠距離成像，距離不超過1m，其內置的光譜分析和報告生成可用於評估光學質量和缺陷。Spectra FX 200具有如此出色的特性和靈活性,對於需要精確晶圓測試和質量控制的用戶來說,它是必不可少的工具。