二手 KLA / TENCOR Spectra FX 200 #9375219 待售
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KLA/TENCOR Spectra FX 200是一種用於半導體制造的自動化晶圓測試和計量設備。它旨在測量和收集有關半導體晶片以及其他現有器件結構的各種物理和光學特性的信息。該系統使用KLA專有的3D掃描技術來精確掃描直徑達200 mm的晶片。兩個集成的傳感器-線性陣列檢測器和雙反射檢測器-允許對晶圓上的表面和特征進行全面和增強的計量。KLA Spectra FX 200提供了廣泛的功能和功能。它具有極好的重復性和準確性（高達0.5微米），能夠在高低光照水平下從晶片中捕獲數據，並提供多種掃描模式，從而能夠測試各種各樣的晶片尺寸。該裝置設計成本和時間效率高，利用精確級設計，以提高吞吐量速度和最小化振動。TENCOR用戶友好型軟件提供了一系列功能和優勢,例如自動對齊和跟蹤、自動掃描/測量/報告執行以及硬件/軟件集成。為了提高圖像質量,TENCOR Spectra FX 200采用了一種名為自動對焦工具（AFS）的創新對焦機,它利用反饋回路自動調整儀器的對焦,確保了結果的高精度和準確性。Spectra FX 200還提供了有用的數據收集和分析工具。實時收集數據,並自動保存數據以供將來參考或處理。導入/導出功能也可用。資產可以與許多外圍設備集成,例如攝像頭、激光和顯微鏡。總體而言，KLA/TENCOR Spectra FX 200是一種先進的晶圓測試和計量模型，設計用於半導體制造。其專有的掃描設備和功能,如AFS和數據分析工具,使其成為一種功能強大的工具,可幫助開發和改進先進的半導體器件。
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