二手 KLA / TENCOR SpectraShape 8660 #293587780 待售

KLA/TENCOR SpectraShape 8660是一種先進的晶圓測試和計量設備，適用於廣泛的晶圓計量要求。它提供了極好的精度、重復性和吞吐量，使其成為精確晶圓測量和檢驗的理想解決方案。KLA SpectraShape 8660設計為一個自動化的高分辨率系統,可精確測量高達125 μ m的表面。它使用一種稱為AutoScan的表面計量幹涉測量技術，以確保其測量和檢查的準確性。這項技術的工作原理是在非常緊密間隔的點掃描晶圓，並利用多個波長生成測量數據。該單元可通過直徑和接觸孔尺寸測量各種關鍵參數，如圖樣溝槽深度、閘口間隙。TENCOR SpectraShape 8660配備了一個大型、高分辨率的VGA顯示屏，用於查看結果。它具有強大的內部數據處理功能,使其能夠快速分析和呈現數據。該機還支持各種探針選項和先進的CCD攝像頭，可幫助操作員訪問和準確性。KLA還為SpectraShape 8660提供了多項增值功能。其中之一是其專有的「Spectronet」軟件,它使用戶能夠輕松地在多個站點上創建、監視和查看數據。此軟件能夠與遠程工作站共享數據,便於遠程查看報告。KLA/TENCOR SpectraShape 8660被設計為易於使用和維護。其軟件界面直觀，維護程序簡單明了。總體而言，該工具可以為一系列晶圓計量要求提供經濟高效、可靠和精確的解決方案。