二手 KLA / TENCOR SpectraShape 8660 #293630250 待售

KLA/TENCOR SpectraShape 8660是一種晶圓測試和計量設備，用於檢查晶圓是否有缺陷。該系統配備了提供高分辨率非接觸式2D和3D測量的幹涉儀。晶片安裝在可調的4軸級上，以便快速導航和精確定位，使其能夠測量缺陷大小、輪廓輪廓、平坦度和其他參數。該單元具有高達0.1nm的可重復性（低至0.02nm）,具有多種不同的組件,包括6英寸（標準）和8英寸（選項）晶圓。KLA SpectraShape 8660具有多種優勢功能,有助於改善結果和工作流程。其中包括一臺帶有非接觸式計量（NCM）工具的自動非接觸式2D（高度）測量機，用於缺陷審查和修正。資產還提供自動對焦功能,以實現更快、更高效的操作。此外，該平臺還配備了先進的一鍵缺陷審查模型，以快速識別和解決各種缺陷。全面的數據管理設備有助於存儲、分析和歸檔所有結果。此外，系統還配備了靈活的測試協議開發選項，用戶可以創建自定義算法來指導測試。操作員還能夠查看各種交互式3 D可視化中的數據,並自定義數據表示以幫助進行質量控制。TENCOR SpectraShape 8660是一種多功能工具，可以節省晶圓測試和計量領域的時間和勞力。它的特點和選項提供了具有可重復結果的高度精確的測量。此外,內置的數據管理和測試協議開發可以幫助簡化操作、提高效率和準確性,並幫助降低成本。