二手 KLA / TENCOR SpectraShape 8660 #9223300 待售

KLA/TENCOR SpectraShape 8660是一種最先進的晶片測試和計量設備，設計用於測量半導體晶片的電氣、光學和機械性能。它能夠精確測量直徑達8英寸的半導體晶片，並提供了一種可靠、可重復和經濟高效的方法來確定晶片的質量。8660利用獨特的多傳感器技術，從半導體晶圓收集數據。該系統由探頭、光學頭和集成電氣測試電子設備組成。探頭由一個金字塔形探頭陣列組成，該陣列能夠同時接觸晶圓上的多達8個位置，可用於手動或自動化過程。探針可以檢測電阻和電容的變化，並提供晶圓表面的二維成像。光學頭提供光學顯微鏡，可提供高分辨率圖像來檢測表面缺陷、汙染物或物理特性變化。集成測試電子處理載流子移動性、電性能、排泄性等半導體電氣參數的測量。KLA SpectraShape 8660還提供了廣泛的數據分析功能,可實現晶圓與晶圓的比較、模式識別和故障分析。8660的可擴展集成層允許客戶將額外的測試流程集成到單元中，如Visual Defect Inspection、Photomask Inspection和自動ITO/ICP測試。憑借獨特的多傳感器技術和先進的數據分析能力，TENCOR SpectraShape 8660是半導體晶圓生產設施理想的晶圓測試和計量機器。它提供全面的晶圓測試和計量，以確保產品質量和降低風險的成本效益的方式。