二手 KLA / TENCOR Spectrashape 8810 #9384659 待售

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ID: 9384659
晶圓大小: 12"
System, 12" (3) Load ports Chamber Lamp: 8kW.
KLA/TENCOR Spectrashape 8810是一種高精度晶圓測試和計量設備,設計用於高性能光學計量和檢查反射率和圖像質量,用於各種材料和應用。該系統配備了多種光學元件,如切爾尼-特納光譜儀、光源、CMOS探測器和濾光片,以實現先進的光學分析和測量能力。光學單元設計有兩條獨立的光路,能夠對二維圖像進行高保真成像和實時記錄光譜。它還具有高精度的精確級和快速的掃描速度,允許在大面積晶圓上快速執行擴展測試序列。KLA Spectrashape 8810可用於一系列應用,包括晶圓缺陷評估和檢驗、無損檢測、缺陷定位和分析、光學表征和薄膜厚度測量。它還提供一系列自動測量功能,包括激光跟蹤、暗場成像和粒子分析。機器的高級軟件提供了強大的定量分析能力,使用戶能夠快速評估薄膜均勻性、塗層均勻性、晶片經度和其他晶片缺陷,以及能夠識別清晰、分離和可識別的缺陷區域。總體而言,TENCOR Spectrashape 8810工具為各種材料和應用提供了高效、準確和可靠的測量。其高精度光學資產和自動化測試功能使用戶能夠快速輕松地評估晶圓結構和缺陷,從而開發新的工藝和技術。
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