二手 KLA / TENCOR Surfscan AIT #293750395 待售
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KLA/TENCOR Surfscan AIT是一種晶圓測試和計量設備，旨在使半導體制造商能夠快速準確地測試和測量其晶圓和結構的性能。該系統的主要部件是光學顯微鏡、CCD相機、種類繁多的軟硬件模塊以及工藝參數控制器。光學顯微鏡具有先進的光學變焦功能和可重新配置的照明裝置，用於觀察晶圓上的微觀特征。CCD照相機可用於捕捉被檢查晶圓和結構的高分辨率圖像。這臺機器還包括各種硬件模塊，包括用於測量各種尺度尺寸的集成計量工具，以及用於制造過程中制圖晶片的光刻資產。在軟件方面，KLA Surfscan AIT包含了許多旨在收集、分析和顯示數據的應用程序。TENCOR Surfscan AIT可用於評估微芯片晶片的完整性、測量電阻率、檢測汙染以及測量結構和特征的臨界尺寸（CD）變化。Surfscan AIT還具有識別缺陷和執行快速分類和鑒定的功能。它內置的過程參數控制器能夠實時控制過程和操作參數。此外,KLA/TENCOR Surfscan AIT還包括高級數據收集、分析和報告功能。該模型利用各種數據收集方法，包括自動目視檢查、復雜數據分析和軟件定義的度量，來捕獲和分析從每項測試和測量中獲得的數據。然後將這些數據匯編成報告，供制造商用來評估其晶片和結構的性能。KLA Surfscan AIT設計用於半導體制造的大批量生產線。其強大的軟硬件模塊組合，以及快速準確測試和測量晶片和結構的能力，使其成為晶片測試和計量的理想選擇。
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