二手 KLA / TENCOR Surfscan AIT #9155784 待售

KLA/TENCOR Surfscan AIT是一種領先的晶圓測試和計量設備，設計用於高速和高通量晶圓檢驗和計量操作。適用於多種應用，從簡單的缺陷檢查到復雜的過程控制系統。該系統包含多個組件,包括高級硬件單元、集成軟件機器和可選附件。硬件組件包括一個照明器、物鏡和檢測器組件，用於捕獲晶圓的圖像，用於缺陷檢測、計量和其他檢查。檢測器組件由高速CCD或高靈敏度CCD組成,具體取決於應用程序。軟件工具包括功能強大且直觀的圖形用戶界面（GUI）以及用於檢查各種晶圓缺陷的各種自動缺陷檢測算法。GUI旨在促進用戶友好操作,以實現最佳缺陷檢測。軟件資產還支持高級渦流成像以及強大的統計過程控制（SPC）和測量過程表征（MPC）功能,以提高計量性能。KLA Surfscan AIT模型具有多種操作特性，與其他晶圓檢驗和計量系統相比具有明顯優勢。它提供極高的吞吐量，每小時高達300毫米晶圓，並且可以快速重新配置以適應不斷變化的工藝要求。它還實現了高度精確的測量,特別註重陣列晶圓、3D結構和集成電路。這些設備將高度先進和準確的硬件和軟件包與工業級易用性結合在一起,以實現快速、準確和經濟高效的晶圓測試。它提供了跨多個應用節點的同步在線計量和缺陷檢測，以實現全面的檢測覆蓋和實時的過程優化。此外,與流行的自動化控制軟件Semi-AUTOgonous FABrication （SAF）系統的兼容性使得使用TENCOR Surfscan AIT系統更具吸引力。Surfscan AIT單元是一個全面、經濟高效的晶片測試和計量解決方案,它提供了克服現代晶片生產復雜性所需的速度和準確性。其先進的硬件和軟件功能確保了準確可靠的結果,使其成為關鍵過程控制和監視任務的理想選擇。