二手 KLA / TENCOR Surfscan AIT #9204828 待售
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ID: 9204828
Patterned wafer inspection system, 8"
Model no: 8010
(2) Blowers
(2) Blower fans
Foot plate
Monitor
Keyboard
Joystick
Jogdial
Floppy Disk Drive (FDD)
(6) Pad
Hard Disk Drive (HDD)
FDD
CDROM
Jaz drive
Stage assembly (8" chuck)
Optic unit
(2) Analog boards PMT 10C
CCD Camera
Microscope DR assembly board
PSF Assembly board
PSF S8000 Assembly board
Robot assembly
Turret assembly:
Objective lens:
10x / 0.30BD
100x / 0.80BD
250x / 0.90BD
System controller card cadge:
Hard disk
Motor driver board
Slot 1: VGA Card
Slot 3: CPU Board
Slot 5: Data processing board 1
Slot 6: Data processing board 2
Slot 8: GPIO Board
Slot 9: TIM Board
Slot 11: ADS Board
Slot 12: Motor control 1
Slot 13: Motor control 2
Slot 15: 4-Port SER board
Slot 17: Network card
Slot 18: DIO 500
Power: 208 V, 60 Hz, Single phase, 30 A
1997 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan AIT是一種晶圓測試和計量設備，設計用於半導體晶圓的檢驗和計量。該系統利用光學和X射線技術相結合，對晶圓表面進行全面而有力的表征。KLA Surfscan AIT的核心部件是一個檢測室，裏面裝有光學器件、透射樣本級和防撞罩。這個腔室是真空環境，光學器件以覆蓋整個晶片的編碼掃描模式排列。該單元能夠將各種樣品傳送到位，將其旋轉至所需方向，並測量表面反射率和地形。TENCOR Surfscan AIT具有檢測各類晶片缺陷的能力，如顆粒汙染、劃痕、晶體圖樣缺陷等。機器可以提供有關缺陷的空間和形狀信息，以便精確地查明它們的位置。此外,該刀具可用於曲面測量,其中測量了粗糙度、刮擦深度和高度等曲面特性。為了提供更詳細的分析，Surfscan AIT提供晶圓計量。這是通過結合資產的光學和X射線元件來實現的，以便精確測量特征大小和位置等特征。這是利用模型的高級成像算法和計算能力完成的。KLA/TENCOR Surfscan AIT設備堅固可靠，可用於各種晶圓測試和計量應用。例如，該系統可用於新材料的鑒定、工藝性能評估或故障分析。該單元還能夠以更高的速度收集數據，允許在短時間內對範圍廣泛的晶片進行檢查。總體而言，KLA Surfscan AIT是晶圓測試和計量的寶貴工具，使半導體晶圓表面的表征比以往任何時候都更加容易和高效。
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