二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE 45-014824 #293672012 待售

ID: 293672012
Robot for TP 500.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE 45-014824晶圓測試計量設備設計用於快速、精確的晶圓測量。它擁有一個自動化、健壯的系統,可快速方便地掃描晶片,以了解關鍵尺寸、陣列幾何形狀、邊緣參數和步驟。該單元能夠測量扁平晶片以及曲線和凸起。KLA 45-014824機器提供了一種綜合工具,能夠精確測量半導體晶片上的各種不同特性。它利用灰度相機拍攝二維(2D)幹涉圖像,然後用來測量臨界尺寸(CD)參數。它還采用激光模式識別資產來識別和測量凹槽參數。該模型還具有測量步長的能力。該設備配有用戶友好界面和各種顯示選項,在進行測量時提供方便和可靠性。此外,系統還提供數據分析功能,如CD統計分析。它還集成安裝在四軸晶圓級上,允許在測量過程中自動執行步驟。TENCOR 45-014824專為快速可靠的測量而設計,具有重叠的視野,可同時從多個尖端進行測量。它的動態交互控制技術消除了振動和環境漂移,有助於從晶圓到晶圓的一致可靠的測量。該設備采用高壓FEE電路,可確保可重復的CD測量,而不考慮小規模的模式變化。機器配備了各種功能,以確保精確的測量,例如帶有閉環反饋的可重復性監視器。提供了自動例程以快速方便地測量晶片,並提供了用於創建自定義測量腳本的配方庫。此外,該工具具有開放式體系結構,因此可以與各種計量工具集成,以實現特征識別和數據集成。總體而言,THERMA-WAVE 45-014824是一種先進的晶圓測試和計量資產,旨在高效測量晶圓的多個參數和特征。該模型提供業界領先的性能、吞吐量和準確性,並且易於與其他計量工具集成。它是晶圓檢測和測試在先進半導體制造和生產應用中的理想選擇。
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