二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE 5220Xp #293656107 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE 5220Xp是一種晶圓測試和計量設備，結合了強大的光學、機械和電氣測試功能，用於高級晶圓分析。系統的主要部件包括一個檢查顯微鏡、多軸納米定位器、一個微鍛造模塊和一個溫度映射模塊。顯微鏡提供檢查和計量能力，允許自動觀察和測量設備結構。多軸納米定位器可在電氣測試期間對探針進行精確定位。該微鍛造模塊在制造過程中提供了設備的精確調整。溫度映射模塊能夠在一定溫度範圍內對設備進行精確的溫度讀數。KLA 5220Xp單元利用三重檢測成像機,該機設計用於在廣泛的場角和放大倍數範圍內提供高分辨率圖像。這是通過使用高分辨率物鏡、CCD相機和電荷耦合器件（CCD）檢測器來實現的。三重檢測工具允許精確調整測試結構，確保精確的結果和準確的測量。TENCOR 5220Xp使用階段自動化資產進行晶圓映射和對齊。舞臺自動化模型利用直線電動機精確地移動金剛石尖頭探頭，同時利用高精度旋轉舞臺對測試結構進行精確定位。該設備還采用了最先進的快速掃描雙激光系統，為測試結構提供高分辨率熱映射。這樣可以快速檢測和精確量化熱效應,從而對處理環境進行精確控制。此外，該單位還采用了先進的現場電氣測試能力。這包括能夠快速準確地測量電阻率、電容、電感和頻率響應等物理參數。該機還包括晶圓級測試的片上測試能力。5220Xp工具旨在為制造商提供無與倫比的晶圓測試、計量和檢驗操作精度和精確度。它利用經過驗證的光學、機械和電氣測試功能以及最先進的溫度映射和現場電氣測試功能,以確保制造商能夠進行準確和精確的測量。這使制造商有信心，他們獲得的測試結果將是可靠和最高質量的。