二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE FX 200 #9211045 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE FX 200設備是一種精密的晶圓測試和計量系統，針對晶圓器件的精確測量進行了優化。這個單元有一個高靈敏度的數字信號處理器，它可以掃描小至20納米的缺陷，而它的多軸光頭配置是為了高通量性能而優化的。此外，機器的精密運動編碼技術使自動化探針能夠精確定位探針，采樣晶圓上的各種位置。KLA FX 200配備了一系列的自動化測試解決方案和可選擇的測量探針，以適應不同的測試和計量要求。它具有一個自動對焦工具，配置為使探針與晶圓表面對齊，以便精確測量表面地形。自動對焦資產還包括為補償樣品高度和方向的任何差異而設計的數字圖像處理算法。該模型包括多種高級測試和計量工具，包括高速光學檢查、燒錄測試、射頻發射和接收能力以及熱分析。它支持邏輯、DRAM和SRAM、EPROM和雙極器件等一系列晶圓類型。此外,它還具有一系列分析參數,包括電流、電壓、定時和電容,以進一步表征設備的特性。該設備還為各種行業標準軟件和其他編程語言提供支持，使其易於集成到現有的制造生產線中。TENCOR FX 200提供全面的數據顯示和分析功能,允許用戶查看和解釋測量結果。該系統還有一個直觀的用戶界面，設計方便導航，可以獨立配置操作，也可以連接到中央數據管理單元。它有一個自動故障診斷機器,用於檢測和報告測量操作過程中的任何故障或問題,幫助確保產品質量和產量。此外,THERMA-WAVE FX 200工具還為過程控制和質量保證提供了快速、準確和一致的測量。它可以同時測試數百個晶片上的電氣參數,並提供快速反饋以幫助縮短循環時間。該資產配有警報指示器，以提醒操作員註意潛在問題，以及一系列適合不同應用的運動控制選項。總體而言,FX 200型號使制造商能夠執行極其精確和一致的晶圓測試和計量。它的高靈敏度數字信號處理器、多軸光頭配置和自動探針提供可靠和可重復的性能，而其各種測試和計量工具使用戶能夠精確地表征和檢查設備。該系統具有可擴展的設計、直觀的用戶界面和自動故障診斷設備,可為制造商提供全面的晶圓測試和計量解決方案。